Fonte de excitação; óptica primária; posicionamento de amostra e blindagem de radiação; óptica secundária: tipo espectrômetro e detectores de raios x.

Canhão eletrônico; óptica primária; lente condensadora 1 e blindagem de radiação; lente condensadora 2 e câmara a vácuo.

Fonte de excitação; lente condensadora 1 e blindagem de radiação; lentes objetivas 1 e 2; emissão de luz e câmara a vácuo.

Fonte de excitação; porta amostra; blindagem de radiação; tubo de raios catódicos e câmara de bombardeamento eletrônico.