A técnica de epitaxia por fase vapor é também chamada de deposição por vapor químico. Uma das modalidades de deposição por vapor químico mais usadas é a epitaxia por fase vapor de organometálicos.

A técnica de epitaxia por fase líquida é baseada em um diagrama de equilíbrio entre a fase líquida e a fusão congruente do sólido. A fusão congruente ocorre em qualquer temperatura na qual o sólido e o líquido tenham a mesma composição.

O gás hélio pode ser usado na detecção de vazamentos muito pequenos em câmaras de ultra-alto vácuo, pois sua molécula é pequena. Quando passa pelo vazamento e entra no sistema, esse gás é facilmente detectado por um espectrômetro de massa que esteja acoplado à câmara de ultra-alto vácuo, demonstrando que naquele lugar existe um vazamento que permitiu a entrada desse gás.

A acetona pode ser empregada para a detecção de grandes vazamentos em câmaras de vácuo usadas para crescimento epitaxial de semicondutores. A molécula de acetona entra em contato com a baixa pressão através do lugar do vazamento e se congela, fechando temporariamente esse ponto. Contudo, após certo tempo, tal molécula é sugada para dentro do sistema, ocasionando um aumento de pressão, indicativo de que o vazamento continua e se situa exatamente naquele lugar.

Em sistemas onde o ultra-alto vácuo é necessário, sempre existe a possibilidade de vazamentos. Uma forma de detectar vazamentos pequenos seria espirrar um pouco de acetona no local de que se desconfia que o vazamento esteja ocorrendo. Isso é feito porque a acetona em contato com a baixa pressão se congela e pode obstruir o ponto que está vazando.

As bombas de vácuo mecânicas não podem ser usadas em sistemas que requeiram um ambiente livre de impurezas e contaminantes, uma vez que a possibilidade de injeção de óleo nesse sistema é grande.

A bomba de sorção é feita de um corpo de aço inox com palhetas de cobre internas para facilitar a transferência de calor para a carga de zeólitas. As zeólitas são cerâmicas muito porosas que conseguem absorver e adsorver grandes quantidades de gás de um sistema quando o recipiente de aço inox é esfriado com nitrogênio líquido.

A seqüência correta de bombeamento para se conseguir o ultra-alto vácuo (aproximadamente 10^-11 torr) é a seguinte: bombas de sorção; bombas iônicas; sublimação de titânio associado a um painel criogênico de nitrogênio líquido; bomba turbomolecular.

Uma bomba de sublimação de titânio consiste de filamentos (liga de titânio e tungstênio) que são aquecidos resistivamente. A fonte de titânio é aquecida a uma temperatura de sublimação de 1.500ºC. O bombeamento por sublimação baseia-se na ação absorvedora do titânio evaporado.

Uma bomba de sublimação de titânio é usada quando se necessita de vácuo da ordem de 10^-5 torr.